| 一种硅微振动角速度传感器 |
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| 引用本文： | 苏岩,杨拥军,王寿荣,周百令. 一种硅微振动角速度传感器[J]. 功能材料与器件学报, 2002, 8(2): 161-164 |
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| 作者姓名： | 苏岩 杨拥军 王寿荣 周百令 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学仪器科学与工程系,南京210096
2. 河北半导体研究所,石家庄050051 |
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| 摘 要： | 介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o·s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%。
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| 关 键 词： | 硅微振动角速度传感器 静电驱动 电容检测 MEMS |
| 文章编号： | 1007-4252(2002)02-0161-04 |
| 修稿时间： | 2001-07-16 |
A silicon micro- mechanical vibratory angular rate sensor |
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| SU Yan ,YANG Yong -jun ,WANG Shou -rong ,ZHOU Bai -ling. A silicon micro- mechanical vibratory angular rate sensor[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2002, 8(2): 161-164 |
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| Authors: | SU Yan YANG Yong -jun WANG Shou -rong ZHOU Bai -ling |
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| Affiliation: | SU Yan 1,YANG Yong -jun 2,WANG Shou -rong 1,ZHOU Bai -ling 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | angular rate sensor electrostati c driving capacitance |
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