| 基于电场分布特性的环形栅器件SPICE模型研究 |
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| 引用本文： | 张波,肖立伊,付方发.基于电场分布特性的环形栅器件SPICE模型研究[J].微电子学与计算机,2012,29(12). |
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| 作者姓名： | 张波 肖立伊 付方发 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学微电子中心,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 哈尔滨市科技创新人才研究专项基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种新颖的、更加通用的环形栅器件版图等效宽度提取方法，用于解决目前商用SPICE模型中版图宽度提取方法不适用于环形栅器件这一问题．该方法基于环形栅中沟道电场分布特性，可用于提取多种形状环形栅版图宽度．提出了SPICE模型中模型参数的修改方法，使SPICE环形栅器件模型仿真更为精准．通过TCAD（计算机辅助设计）等多种仿真途径对该模型进行验证，结果表明该模型具有较高的精确度．
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| 关 键 词： | 环形栅 电场分布 等效宽度 SPICE模型 TCAD |
SPICE Model of Annular Gate Device Based on Electric Field Distribution |
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| Keywords: | annular FETs electric field distribution effective width SPICE model TCAD |
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