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薄膜技术
引用本文:付江民.薄膜技术[J].材料保护,1999(8).
作者姓名:付江民
摘    要:薄膜技术9908001 提高金刚石膜与硬质合金结合强度的新方法——LeeD G.Surface&CoatingsTechnology,1998,100~101(1~3)∶187(英文)在硬质合金上沉积金刚石膜,由于二者热膨胀系数失配,使金刚石膜内应力较大,导致金刚石膜剥离或开裂。对基材进行改性,制备三维热力学上和成分上呈梯度变化的中间层,可提高金刚石膜与硬质合金的结合强度。在硬质合金上沉积WC,提高了硬质合金表面粗糙度,从而明显改善金刚石膜的结合强度。9908002 CVD沉积薄膜的前处理——A…

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