| 飞秒激光沉积红外窗口类金刚石增透保护膜 |
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| 引用本文： | 程勇,王会升,郭延龙,王淑云,陆益敏,黄国俊,万强. 飞秒激光沉积红外窗口类金刚石增透保护膜[J]. 红外与激光工程, 2011, 40(12): 2403-2407 |
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| 作者姓名： | 程勇 王会升 郭延龙 王淑云 陆益敏 黄国俊 万强 |
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| 作者单位： | 武汉军械士官学校光电技术研究所,湖北武汉,430075 |
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| 摘 要： | 脉冲激光沉积法是一种制备类金刚石膜(DLC膜)的新技术.总结了脉冲激光法制备DLC膜在激光源、脉宽、沉积气氛及薄膜掺杂等方面的发展趋势.建立了飞秒脉冲激光沉积DLC膜系统,在不同的沉积条件下(如:真空、氧气氛、掺硅等)开展了实验研究,阐明了不同沉积条件对DLC膜性能的影响规律.在硅、锗红外窗口上镀制了工程实用的DLC增...
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| 关 键 词： | 红外窗口 增透膜 保护膜 类金刚石膜 飞秒激光 |
Anti-reflective and protective diamond-like carbon films on infrared windows deposited by femtosecond pulsed laser |
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| Cheng Yong , Wang Huisheng , Guo Yanlong , Wang Shuyun , Lu Yimin , Huang Guojun , Wan Qiang. Anti-reflective and protective diamond-like carbon films on infrared windows deposited by femtosecond pulsed laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2011, 40(12): 2403-2407 |
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| Authors: | Cheng Yong Wang Huisheng Guo Yanlong Wang Shuyun Lu Yimin Huang Guojun Wan Qiang |
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