| SDB技术及其在传感器中的应用 |
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| 引用本文： | 张佐兰. SDB技术及其在传感器中的应用[J]. 传感器与微系统, 1991, 0(6): 30-33 |
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| 作者姓名： | 张佐兰 |
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| 作者单位： | 东南大学 |
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| 摘 要： | 本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。
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| 关 键 词： | SDB技术 |
Technique SDB and Its Use in Sensors |
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| Zhang Zuolan. Technique SDB and Its Use in Sensors[J]. Transducer and Microsystem Technology, 1991, 0(6): 30-33 |
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| Authors: | Zhang Zuolan |
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| Affiliation: | Southeast University |
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| Abstract: | The new techniques of silicon-director-bonding(SDB)and auto-sotp elecrochemical-etch and their use in sensors are briefly introduced |
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| Keywords: | Silicon-director-bonding(SDB)technique |
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