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| MEMS技术及应用 | |
| 作者姓名： | 胡卫军 吴超 |
| 作者单位： | 合肥滨湖职业技术学院 安徽合肥 230601 |
| 摘 要： | MEMS在21世纪取得了巨大的成功,它点燃了信息技术革命的火炬,促进了计算机技术、通信技术以及其他相关技术的更新换代,它自身仍在蓬勃发展.由微电子技术和微机械技术结合而迅速发展起来的微机电系统技术被称为21世纪微电子技术领域最富有挑战性的新技术之一,被认为是微电子技术的又一次革命,它将对整个21世纪的科学技术,生产方式以及人类生活生产深远影响.正因如此,全文概述了微电子系统的形成和发展;论述了微机电系统的加工制造技术与方法.最后介绍微机电系统两个主要组成部分:微传感器与微执行器的用材、种类和机理特性. |
| 关 键 词： | MEMS 沉积 光刻 腐蚀 微传感器 微执行器 |
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