| MEMS压阻超声传感器的设计与优化 |
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| 引用本文： | 宛克敬,何常德,廉德钦,薛晨阳.MEMS压阻超声传感器的设计与优化[J].压电与声光,2012,34(5):728-731. |
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| 作者姓名： | 宛克敬 何常德 廉德钦 薛晨阳 |
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| 作者单位： | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然基金仪器专项基金资助项目(61127008) |
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| 摘 要： | 提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动.通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高.为了实现结构的优化,仿真了结构的尺寸与共振频率的关系,对相同共振频率的结构进行了静力分析,计算并对比了不同尺寸结构的灵敏度,从而得到灵敏度最高的结构,实现了结构的优化.
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| 关 键 词： | 压阻 超声传感器 微传感梁结构 Ansys 优化 |
Designing of MEMS Piezoresistive Ultra Acoustic Transducer |
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| YUAN Kejing,HE Changde,LIAN Deqin and XUE Chengyang.Designing of MEMS Piezoresistive Ultra Acoustic Transducer[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2012,34(5):728-731. |
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| Authors: | YUAN Kejing HE Changde LIAN Deqin and XUE Chengyang |
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| Affiliation: | YUAN Kejing,HE Changde,LIAN Deqin,XUE Chengyang (Key Lab.of Instrument Science & Dynamic Measurement,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoresistance ultrasonic transducer mini sensing cantilever Ansys optimization |
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