| 精密工作台直线电机推力波动补偿研究 |
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| 引用本文： | 杨开明,叶佩青,尹文生.精密工作台直线电机推力波动补偿研究[J].组合机床与自动化加工技术,2005(8):32-33,36. |
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| 作者姓名： | 杨开明 叶佩青 尹文生 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了抑制直线电机推力波动的影响,提高精密工作台的轨迹跟踪精度,采用了基于跟踪误差分离的方法,将由推力波动引起的跟踪误差分量取出,设计推力波动前馈补偿器,构成PD 推力波动前馈补偿的运动控制结构.通过实验,与没有推力波动补偿的PD控制相比较,以50mm/s的速度匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了1μm,以120mm/s的速度匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了4μm.结果表明,该控制方法可以较好的抑制直线电机的推力波动.
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| 关 键 词： | 直线电机 推力波动 前馈补偿 |
| 文章编号： | 1001-2265（2005）08-0032-02 |
| 收稿时间： | 2004-12-10 |
| 修稿时间： | 2004-12-10 |
Research of Compensation Based on Force Ripple of Linear Motor for Precision Stage |
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| YANG Kai-ming,YE Pei-qing,YIN Wen-sheng.Research of Compensation Based on Force Ripple of Linear Motor for Precision Stage[J].Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique,2005(8):32-33,36. |
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| Authors: | YANG Kai-ming YE Pei-qing YIN Wen-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | linear motor force ripple feed forward compensation |
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