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一种具有片上译码/放大功能的微阵列电路及其与生物纳米系统的集成
引用本文:张雷,顾臻,余志平,贺祥庆,陈涌. 一种具有片上译码/放大功能的微阵列电路及其与生物纳米系统的集成[J]. 半导体学报, 2008, 29(10): 1947-1955
作者姓名:张雷  顾臻  余志平  贺祥庆  陈涌
作者单位:清华大学微电子学研究所,北京,100084;加州大学洛杉矶分校机械与航天工程系,洛杉矶,90095,美国
摘    要:提出了一种用SMIC 0.18μm CMOS混合信号工艺实现的全集成CMOS微阵列生物芯片,并成功地实现了其与一种新的生物纳米系统的集成. 该电路实现了19μm×19μm电极的4×4 (16单元)阵列,反相电极,电流模式放大器,译码电路,以及逻辑控制电路的单片集成,并能够提供-1.6~1.6V的组装电压,8bit的电位分辨率及39.8dB的电流增益,电源电压为1.8V,而失调和噪声电流分别为5.9nA和25.3pArms. 在实验中,利用该电路实现了对30nm聚乙烯醇包裹的磁性粒子的片上选择性组装,并对实验结果进行了讨论,从而验证了该电路的正确性和该集成方法的可行性.

关 键 词:CMOS生物芯片  集成CMOS微阵列电路  全集成  电路模式放大器  选择性组装  磁性纳米粒子
收稿时间:2008-04-06
修稿时间:2008-06-03

A CMOS Microarray with On-Chip Decoder/Amplifier and Its Integration with a Bio-Nano-System
Zhang Lei,Gu Zhen,Yu Zhiping,He Xiangqing and Chen Yong. A CMOS Microarray with On-Chip Decoder/Amplifier and Its Integration with a Bio-Nano-System[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 29(10): 1947-1955
Authors:Zhang Lei  Gu Zhen  Yu Zhiping  He Xiangqing  Chen Yong
Affiliation:Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China;Department of Mechanical and Aerospace Engineering,California NanoSystems Institute,University of California,Los Angeles,CA 90095,USA;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China;Department of Mechanical and Aerospace Engineering,California NanoSystems Institute,University of California,Los Angeles,CA 90095,USA
Abstract:
Keywords:CMOS bio-chip  CMOS integrated microarray  fully integration  current mode preamplifier  selective assembly  magnetic nano-particles
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