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| 单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系 | |
| 引用本文： | 方莉俐,陈锋,文德振.单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系[J].中原工学院学报,2001,12(3):10-11. |
| 作者姓名： | 方莉俐 陈锋 文德振 |
| 作者单位： | 1. 中原工学院基础部 2. 郑州磨料磨具磨削研究所 3. 郑州市环境保护监测中心站,河南,郑州,450007 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目子项目(715-03-01-09) |
| 摘 要： | 分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键. |
| 关 键 词： | 同质外延 金刚石薄膜 晶面 关系 |
| 文章编号： | 1007-4945(2001)03-0010-03 |
| 修稿时间： | 2001年9月4日 |
The Relationship Between Crystal Face Index and Film Quality in Single Crystal Diamond Film |
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| FANG Li-li,CHEN Feng,WEN De-zhen.The Relationship Between Crystal Face Index and Film Quality in Single Crystal Diamond Film[J].Journal of Zhongyuan Institute of Technology,2001,12(3):10-11. | |
| Authors: | FANG Li-li CHEN Feng WEN De-zhen |
| Abstract: | In this paper,the relationship between the crystal face index and the film quality in the vapor epitaxial growth of single crystal diamond film is analyzed,and it points out that the key factor which insures the film quality is to control the experimental conditions. |
| Keywords: | epitaxial growth diamond film crystal face relationship |
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