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| 声学显微镜及其在金属材料检测方面的应用 | |
| 作者姓名： | 陈戈林 胡思正 罗淑云 |
| 作者单位： | 清华大学，清华大学，清华大学 |
| 摘 要： | 一、引言继光学显微镜、电子显微镜之后,近年来国际上诞生了一种新型的显微装置—声学显微镜。它具有多种独特的功能,可以用比较简便和无损的手段得到物质表面、亚表层甚至内部深层的一些用别的手段难以获得的信息。因此,在它问世的短短几年来,就在材料科学、微电子学、薄膜技术、焊接工艺和生物医学科学等多方面学科领域获得广泛的应用,并得到迅速的发展。我们清华大学无线电系声学显微镜研制小组经过几年努力,研制成功了我国第一台千兆赫频段反射式机械扫描声学显微镜,并在金属材料检测等方面开展了一些初步的应 |
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