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六氟丁二烯的制备、纯化及应用

引用本文：	金小贤,夏致远,张友圣,孙猛,金向华.六氟丁二烯的制备、纯化及应用[J].低温与特气,2018(1).

作者姓名：	金小贤夏致远张友圣孙猛金向华

作者单位：	苏州金宏气体股份有限公司;

摘要：	六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述。
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