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自动控制在晶体生长中的应用
作者姓名:黄晋强  陈启明  柯观振  权纪亮  赖韶辉
作者单位:广州半导体材料研究所
基金项目:广州市科技计划项目(202102080585);
摘    要:将自动控制技术应用到人工晶体生长中,可有效提高晶体生长的稳定性、一致性和重复性,大幅提高晶体生长的成功率和降低生产成本,同时有效避免了人为主观因素对晶体生长的影响,有利于提高晶体生长质量。开展了自动控径技术生长YAG系列激光晶体的研究,成功生长出高质量YAG系列激光晶体,实现了晶体生长全程自动化控制。本研究结果可广泛应用于不同工艺的晶体生长。

关 键 词:自动控制  YAG  晶体生长  等径
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