自动控制在晶体生长中的应用 |
| |
作者姓名: | 黄晋强 陈启明 柯观振 权纪亮 赖韶辉 |
| |
作者单位: | 广州半导体材料研究所 |
| |
基金项目: | 广州市科技计划项目(202102080585); |
| |
摘 要: | 将自动控制技术应用到人工晶体生长中,可有效提高晶体生长的稳定性、一致性和重复性,大幅提高晶体生长的成功率和降低生产成本,同时有效避免了人为主观因素对晶体生长的影响,有利于提高晶体生长质量。开展了自动控径技术生长YAG系列激光晶体的研究,成功生长出高质量YAG系列激光晶体,实现了晶体生长全程自动化控制。本研究结果可广泛应用于不同工艺的晶体生长。
|
关 键 词: | 自动控制 YAG 晶体生长 等径 |
|
|