| 凹球面网栅激光直写实时控制方法 |
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| 引用本文： | 梁凤超,胡君,续志军.凹球面网栅激光直写实时控制方法[J].光电工程,2007,34(4):128-131. |
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| 作者姓名： | 梁凤超 胡君 续志军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 提出一种基于DuaI-Ported RAM(DPRAM)的凹球面网栅激光直写实时控制方法.采用计算机与PMAC双CPU主从并行、双向通讯和即存即取的控制方法,开发了多层嵌套并行工作程序,使计算机与PMAC实时处理、交换、显示大量控制参数和状态信息,实现了实时控制激光直写凹球面网栅.在口径200 mm、半径150 mm的涂覆感光胶玻璃凹球面基底上,激光直写出了100 μm周期网栅.微米级读数显微镜测量结果表明,网栅均匀,周期误差小于±3%,达到设计要求.
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| 关 键 词： | 凹球面网栅 激光直写 实时控制 PMAC DPRAM |
| 文章编号： | 1003-501X(2007)04-0128-04 |
| 收稿时间： | 2006/6/9 |
| 修稿时间： | 2006-06-09 |
Real-time control method for laser direct writing mesh on the concave spherical substrate |
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| LIANG Feng-chao,HU Jun,XU Zhi-jun.Real-time control method for laser direct writing mesh on the concave spherical substrate[J].Opto-Electronic Engineering,2007,34(4):128-131. |
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| Authors: | LIANG Feng-chao HU Jun XU Zhi-jun |
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| Affiliation: | 1. Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, the Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Bering 100039, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Concave spherical mesh Laser direct writing Real-time control PMAC DPRAM |
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