| 虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架 |
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| 引用本文： | 赵新,李亚威,任亮,卢桂章. 虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架[J]. 高技术通讯, 2004, 14(6): 65-69 |
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| 作者姓名： | 赵新 李亚威 任亮 卢桂章 |
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| 作者单位： | 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071;南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071;南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071;南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 863计划 ( 2 0 0 2AA42 2 2 0 0,2 0 0 2AA40 40 3 0 )，973规划 (G19990 3 3 10 9)，国家自然科学基金 ( 2 9985 0 0 6,60 173 0 61)资助项目 |
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| 摘 要： | 首先提出了虚拟MEMS加工工艺的概念，它是利用图形动态生长，来模拟每步工艺过程，整个工艺过程中形状变化均包含在虚拟工艺中。其次，分析了实现虚拟工艺所涉及的关键技术：工艺描述、工艺模型和加工过程的可视化。第三，给出了基于专家系统技术的虚拟工艺实现框架。最后，实现了一种表面硅工艺的例子，初步验证了实现框架时间和精确度的可行性。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 加工工艺 虚拟现实 专家系统 |
Virtual Fabrication Process of MEMS:Definition, Key Techniques and Implementation Framework |
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| Zhao Xin,Li Yawei,Ren Liang,Lu Guizhang. Virtual Fabrication Process of MEMS:Definition, Key Techniques and Implementation Framework[J]. High Technology Letters, 2004, 14(6): 65-69 |
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| Authors: | Zhao Xin Li Yawei Ren Liang Lu Guizhang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS Fabrication process Virtual reality (VR) Expert system (ES) |
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