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| 微电子器件的抗辐射加固和高可靠技术 | |
| 引用本文： | 胡刚毅.微电子器件的抗辐射加固和高可靠技术[J].微电子学,2003,33(3):224-231. |
| 作者姓名： | 胡刚毅 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 重庆 400060 |
| 摘 要： | 介绍了微电子器件的辐射效应和器件制作材料、电路设计、器件结构、制作工艺、元件之间的隔离、预辐射等加固技术，及微电子器件加固水平；并扼要介绍了微电子器件的耐高温和耐冲击与振动等高可靠技术。 |
| 关 键 词： | 微电子器件 辐射效应 辐射加固 可靠性技术 抗辐射能力 |
| 文章编号： | 1004-3365(2003)03-0224-08 |
| 修稿时间： | 2002年12月18 |
Radiation Hardening and Reliability Technologies for Microelectronic Devices |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Microelectronic device Radiation effect Radiation hardening Reliability technology |
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