| 一种新型微机械谐振式压力传感器研究 |
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| 引用本文： | 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊.一种新型微机械谐振式压力传感器研究[J].传感技术学报,2009,22(6). |
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| 作者姓名： | 史晓晶 陈德勇 王军波 毋正伟 刘磊 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所,传感器国家重点实验室,北京,100190 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构.该传感器采用了电磁激励和差分检测方式.谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片.从而实现了谐振器与压力膜的一体化,避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力,并且工艺简单易于实现.文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYS Simulation)优化,工艺制作流程,及实验测试.在低真空下测试其品质因数(Q)高于10 000,测量范围为0～100 kPa,非线性度为0.62%,分辨率为1/10 000,灵敏度为200 Hz/kPa.
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| 关 键 词： | 谐振式压力传感器 电磁激励 差分检测 |
Research of a Novel Micromachined Resonant Pressure Sensor |
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| SHI Xiaojing,CHEN Deyong,WANG Junbo,WU Zhengwei,LIU Lei.Research of a Novel Micromachined Resonant Pressure Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(6). |
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| Authors: | SHI Xiaojing CHEN Deyong WANG Junbo WU Zhengwei LIU Lei |
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| Affiliation: | SHI Xiaojing,CHEN Deyong,WANG Junbo,WU Zhengwei,LIU Lei(State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS FEA-ANSYS |
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