| 测量薄膜厚度及其折射率的光学方法 |
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| 引用本文： | 黄佐华,何振江. 测量薄膜厚度及其折射率的光学方法[J]. 现代科学仪器, 2003, 0(4): 42-44 |
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| 作者姓名： | 黄佐华 何振江 |
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| 作者单位： | 华南师范大学物理系,广州,510631 |
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| 基金项目： | 广东省科技厅资助项目 (编号 :C60 1 0 9) |
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| 摘 要： | 介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成，并分析了它们的特点及存在问题，指出选择测量方法和仪器应注意的问题。
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| 关 键 词： | 椭圆偏振法 棱镜耦合法 干涉法 膜厚 折射率 |
| 修稿时间： | 2003-01-08 |
The Optical Methods for Measuring the Thickness and Refractive Index of Thin Films |
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| Huang Zuohua,He Zhenjiang. The Optical Methods for Measuring the Thickness and Refractive Index of Thin Films[J]. Modern Scientific Instruments, 2003, 0(4): 42-44 |
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| Authors: | Huang Zuohua He Zhenjiang |
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| Abstract: | The basic principles and instruments of ellipsometry, prism coupling and interferometry are introduced in the paper.The characteristics and problems of the methods are analyzed. The keys to choose the instruments are also given out. |
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| Keywords: | Ellipsometry prism coupling interferometry film thickness refractive index |
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