| 中流强注入机的弗瑞曼离子源 |
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| 引用本文： | 林治洲,李增谱,吴建华,王戈.中流强注入机的弗瑞曼离子源[J].原子能科学技术,1987(1). |
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| 作者姓名： | 林治洲 李增谱 吴建华 王戈 |
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| 作者单位： | 中国原子能科学研究院 北京
(林治洲，李增谱，吴建华)，中国原子能科学研究院 北京(王戈) |
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| 摘 要： | 一、引言离子注入在半导体工业、金属材料改性的研究,特别是在大规模集成电路的研制中得到了广泛的应用。我们这台离子源是为中流强离子注入机研制的,它的设计指标是:1.气、固两用离子源,固体工作温度为250-800℃。2.分析后接收~(11)B~+≥500μA,横向张角(发散束)α≤±3°,纵向张角(会聚束)β≤±1°。3.在~(11)B~+=500μA下灯丝寿命为10小
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| 关 键 词： | 弗瑞曼离子源 B~+ |
A FREEMAN-TYPE ION SOURCE FOR MEDIUM-CURRENT ION IMPLANTATOR |
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| LIN ZHIZHOU,LI ZENGPU,WU JIANHUA,WANG GE Institute of Atomic Energy,P. O. Box.A FREEMAN-TYPE ION SOURCE FOR MEDIUM-CURRENT ION IMPLANTATOR[J].Atomic Energy Science and Technology,1987(1). |
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| Authors: | LIN ZHIZHOU LI ZENGPU WU JIANHUA WANG GE Institute of Atomic Energy P O Box |
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| Affiliation: | LIN ZHIZHOU,LI ZENGPU,WU JIANHUA,WANG GE Institute of Atomic Energy,P. O. Box 275. Beijing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Freeman ion source B~+ |
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