0~89°的金属二次电子发射系数的通式 |
| |
引用本文: | 谢爱根,陈云云,王祖松,仲坤.0~89°的金属二次电子发射系数的通式[J].真空科学与技术学报,2015(2):150-155. |
| |
作者姓名: | 谢爱根 陈云云 王祖松 仲坤 |
| |
作者单位: | 南京信息工程大学物理与光电工程学院 |
| |
基金项目: | 国家自然科学基金项目(No.11473049);江苏省高校自然科学基金(No.13KJB140007) |
| |
摘 要: | 根据二次电子发射的物理特性和过程,以θ角射入原子序数为Z的金属的每个原电子发射的二次电子数(δPEθZ)、原电子的入射能量(Wp0)、cosθ和参数Y(θ,Z)之间的关系被推导出来了。根究实验结果,得出Wp0为2~10keV的比率βθ、Wp0和cosθ之间的关系式。根据二次电子发射系数δθ和二次电子发射系数δ0之间的关系,Wp0为2~10keV的δθ、δ0、背散射系数η0、背散射系数ηθ、参数Y(θ,Z)、Wp0和cosθ之间的关系式(r)被推导出。根据r、实验结果、ηθ和η0的表达式,得出参数Y(θ,Z)、Z和θ之间的关系式。以δ0、η0、ηθ、cosθ的1.08-0.59(θ/90)12](20/Z)0.07407次方、Wp0和cosθ为变量的Wp0为2~10keVδθ的通式被推导出。用该通式计算出来的二次电子发射系数与实验的铝、镍、铅和铍二次电子发射系数分别进行了比较。结果表明:推导的二次电子发射系数的通式可以用来估算Wp0为2~10keV和θ为0~89°的二次电子发射系数。
|
关 键 词: | 二次电子发射系数 比率 入射角 金属 通式 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|