| 全玻璃SS-AlN金属陶瓷真空太阳集热管 |
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| 引用本文： | 章其初,陈革,王双,池华敬,周旭,孟秀清. 全玻璃SS-AlN金属陶瓷真空太阳集热管[J]. 真空, 2010, 47(4) |
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| 作者姓名： | 章其初 陈革 王双 池华敬 周旭 孟秀清 |
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| 作者单位： | 皇明太阳能股份有限公司,镀膜研究所,山东,德州,253000 |
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| 摘 要： | 不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积。太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层。金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分。实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%。皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管。我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产。集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m。每条线日产约为1.8～2.0万支。
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| 关 键 词： | 真空太阳集热管 太阳吸收涂层 金属陶瓷 磁控溅射 镀膜机 集热管镀膜线 |
All-glass vacuum solar collector tubes incorporating sputtered SS-AlN cermet solar coatings |
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| ZHANG Qi-chu,CHEN Ge,WANG Shuang,CHI Hua-jing,ZHOU Xu,MENG Xiu-qing. All-glass vacuum solar collector tubes incorporating sputtered SS-AlN cermet solar coatings[J]. Vacuum(China), 2010, 47(4) |
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| Authors: | ZHANG Qi-chu CHEN Ge WANG Shuang CHI Hua-jing ZHOU Xu MENG Xiu-qing |
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