| 集成光学陀螺环形谐振腔的优化设计与制备 |
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| 引用本文： | 郭丽君,石邦任,赵猛,吕昊,赵振明,陈晨.集成光学陀螺环形谐振腔的优化设计与制备[J].光电工程,2009,36(8). |
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| 作者姓名： | 郭丽君 石邦任 赵猛 吕昊 赵振明 陈晨 |
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| 作者单位： | 长春理工大学物理系,长春,130022 |
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| 摘 要： | 利用广角有限差分光束传播法(WA-BPM)对集成光学陀螺(10G)用掺锗的二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计,详细分析了谐振腔的主要性能参数精细度F与各种损耗及光强耦合系数的关系. 在优化设计基础上,在硅基底上利用等离子体增强型化学汽相沉积(PECVD)法与反应离子刻蚀(RIE)制作了掺锗的SiO2光波导环形谐振腔.经测试,在1 550 nm波长处,光波导传输损耗为0.02 dB/cm,环形谐振腔内总传输损耗仅为0.1 dB/circuit,可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考.
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| 关 键 词： | 光学陀螺 SiO2光波导 环形谐振腔 |
Optimal Design and Fabrication of Ring Resonator in Optical Waveguide for IOG |
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| GUO Li-jun,SHI Bang-ren,ZHAO Meng,L Hao,ZHAO Zhen-ming,CHEN Chen.Optimal Design and Fabrication of Ring Resonator in Optical Waveguide for IOG[J].Opto-Electronic Engineering,2009,36(8). |
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| Authors: | GUO Li-jun SHI Bang-ren ZHAO Meng L Hao ZHAO Zhen-ming CHEN Chen |
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| Affiliation: | GUO Li-jun,SHI Bang-ren,ZHAO Meng,L(U) Hao,ZHAO Zhen-ming,CHEN Chen |
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