| NiTi形状记忆合金薄膜的相结构 |
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| 引用本文： | 柳美荣,郭锦芳,王小平. NiTi形状记忆合金薄膜的相结构[J]. 金属学报, 2002, 38(Z1): 224-225 |
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| 作者姓名： | 柳美荣 郭锦芳 王小平 |
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| 作者单位： | 1. 有研亿金新材料股份有限公司,北京,100088
2. 北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜,采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应,研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响.结果表明,等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后,相结构明显不同,前者相结构主要为B2相,后者则为B2+M相;且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后,随着温度的升高,M相和第二相也相应增多.
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| 关 键 词： | 形状记忆合金 磁控溅射法 NiTi薄膜 晶化热处理 |
| 文章编号： | 0412-1961(2002)S-S224-02 |
| 修稿时间： | 2002-03-25 |
PHASE STRUCTURES OF NiTi SHAPE MEMORY ALLOY THIN FILMS |
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