基于激光干涉法的斜导轨数控机床定位精度检测方法

以M80X型车铣复合加工中心作为研究对象,利用双频激光干涉仪测量装置,通过对分光镜、反光镜及旋转镜的组合,改变激光测量光路方向,有效解决斜导轨数控机床倾斜运动轴的定位精度测量难题。通过对机床运动轴位置补偿,将倾斜轴X、Y定位精度分别从补偿前的23. 3μm、15. 8μm,提高到2. 6μm、1. 7μm,极大的提高了机床加工性能。