金刚石薄膜场发射特性研究现状 |
| |
引用本文: | 王旸,张锦文.金刚石薄膜场发射特性研究现状[J].功能材料,2023(9):9007-9016. |
| |
作者姓名: | 王旸 张锦文 |
| |
作者单位: | 1. 北京大学集成电路学院;2. 北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室 |
| |
基金项目: | 国家重点研发计划(2021YFB3200100); |
| |
摘 要: | 金刚石薄膜具有负电子亲合能、高热导率和极强的化学惰性等优势,作为场发射材料引起了广泛关注。回顾了金刚石薄膜的分类,介绍了氢化金刚石薄膜具有的负电子亲合能特性,分析了金刚石薄膜场发射特性的影响因素,列举了场发射特性的优化方向,并总结了文献中报道的金刚石薄膜与其他材料复合获得的场发射阴极的性能,对于分析和改进金刚石薄膜器件场发射性能具有重要意义。
|
关 键 词: | 金刚石薄膜 场电子发射 负电子亲合能 |
|
|