| 用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器 |
| |
| 引用本文： | 卢建国 黄玢. 用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器[J]. 红外技术, 1993, 15(4): 23-25 |
| |
| 作者姓名： | 卢建国 黄玢 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，北京控制工程研究所，北京控制工程研究所 上海 200050，上海 200050，上海 200050，上海 200050 |
| |
| 摘 要： | 本文报道了试用于红外地平仪的新型热堆传感器。由于尺寸小、集成热偶对数高,故设计成双列硅集成结构,集成B-Sb热偶对为112对。采用集成电路工艺和微细加工技术研制,使器件获得较好的稳定性和可靠性。测得器件性能为:电阻10±1kΩ,响应率0.9～1.2V/W,时间常数<100ms.探测率D~*≈1×10~8cmHz~(1/2)/W。
|
| 关 键 词： | 塞贝克效应 热堆 响应率 传感器 |
The Silicon Thermopile Detector for Infrared Holizon Sensors |
| |
| Lu Jianguo,Shui Zhaoweng,Xion Bing,Wang Weiyuan/. The Silicon Thermopile Detector for Infrared Holizon Sensors[J]. Infrared Technology, 1993, 15(4): 23-25 |
| |
| Authors: | Lu Jianguo Shui Zhaoweng Xion Bing Wang Weiyuan/ |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Seebeck effect Thermopile Responsiviy |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
