MOCVD方法在TiO2纳米粉末制备中的应用 |
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作者姓名: | 孙一军 夏冠群 |
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摘 要: | 众所周知,MOCVD方法是制备薄膜材料的重要方法之一,现已广泛应用于半导体薄膜,铁电薄膜和超导薄膜等的制备。在以前的工作中,我们设计,加工安装,调试,建立了一套可计算机自动控制的热壁低压MOCVD设备,制备了TiO2纳米粉末,得到了一些初步结果。本文详细研究了热壁低压MOCVD方法在TiO2纳米粉末制备中的应用,通过的合理设计反应室和收集区域,在采用反应区域和收集区域之间无任何过渡区域的收集方式,
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关 键 词: | 二氧化钛 纳米粉末 MOCVD法 沉积温度 X射线衍射 |
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