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化学刻蚀法制备多孔硅的表面形貌研究
引用本文:
程璇,林昌健.化学刻蚀法制备多孔硅的表面形貌研究[J].材料科学与工程,1999,17(3):27-30.
作者姓名:
程璇
林昌健
作者单位:
[1]厦门大学化学系 [2]厦门大学材料科学系
摘 要:
本工作首先采用化学刻蚀法制备出各种特征的多孔硅,然后通过扫描电镜技术,对多孔硅的表面形貌进行了表征,并分析了多孔硅表面微结构的形成过程。
关 键 词:
多孔硅
化学刻蚀
表面形貌
微观结构
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