| 增强型等离子化学气象沉积炉均匀布气研究 |
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| 引用本文： | 王成刚,李桂琴,陆利新,王燕.增强型等离子化学气象沉积炉均匀布气研究[J].计算机仿真,2010,27(6):122-125. |
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| 作者姓名： | 王成刚 李桂琴 陆利新 王燕 |
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| 作者单位： | 上海大学上海市机械自动化及机器人重点实验室,上海,200072 |
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| 摘 要： | 研究感应式射频等离子体技术,为提高离化率,利用流体力学的相关数值计算方法, 对增强型等离子化学气象沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ,PECVD)设备的布气系统进行理论分析,得到平板布气装置中压力与孔径的关系.为了实现根据PECVD设备最大面积的均匀性布气,根据PECVD设备中的压力分布,优化现有的布气装置结构参数,以实现孔径补偿气流的效果.并结合专用的CFD软件对上述不同结构中的气流进行仿真,验证所优化的布气装置的合理性.用到现有的设备当中测试,提高了装备的均匀布气效果.
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| 关 键 词： | 匀流板 流体力学 仿真 均匀布气 |
Research on Uniform Airflow of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition |
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| WANG Cheng-gang,LI Gui-qin,LU Li-xin,WANG Yan.Research on Uniform Airflow of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition[J].Computer Simulation,2010,27(6):122-125. |
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| Authors: | WANG Cheng-gang LI Gui-qin LU Li-xin WANG Yan |
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