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MOD法制备YBa2Cu3O7—x超导薄膜
引用本文:杨培志 王玉霞. MOD法制备YBa2Cu3O7—x超导薄膜[J]. 稀有金属材料与工程, 1995, 24(6): 58-63
作者姓名:杨培志 王玉霞
作者单位:昆明贵金属研究所,中国科技大学材料科学与工程系
摘    要:用Y、Ba、Cu的三氟乙酸盐溶液,通过MOD法在SrTiO3(100)衬底上成功地制得了黑色的、表面光滑的YBCO超导薄膜。研究了两种理想的成膜烧结工艺,对膜进行了物相研究。结果表明:在850℃,潮湿氧气氛中烧结的薄膜具有一定的择优取向;而在750℃,潮湿的低氧气氛中烧结的薄膜则具有高度的c轴织构,前者的Tc(onse)≈90K,Tc0≈79K,较低的氧分压似乎有利于c轴结构。

关 键 词:超导材料 薄膜 制备 MOD法 物相

Preparation of YBa_2Cu_3O(7-x)Superconducting Thin Films by Metalorganic Deposition
Yang Peizhi. Preparation of YBa_2Cu_3O(7-x)Superconducting Thin Films by Metalorganic Deposition[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 1995, 24(6): 58-63
Authors:Yang Peizhi
Abstract:
Keywords:YBCO  Superconducting  thin  film  Trifluoro  acetate  physical  properties and phase analysic  MOD(metalorganic deposition)
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