| 基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 |
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| 引用本文： | 王海珊,史铁林,廖广兰,刘世元,张文栋.基于干涉显微原理的表面形貌测量系统[J].光电工程,2008,35(7):84-89. |
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| 作者姓名： | 王海珊 史铁林 廖广兰 刘世元 张文栋 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074;武汉光电国家实验室,光电材料与微纳制造研究部,武汉,430074
2. 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统.该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量.为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI 和PSI 两种模式分别进行了测量实验.结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求.
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| 关 键 词： | 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST 算法 扫描干涉法 原理 表面形貌测量 测量系统 Vision System Micro Interferometry 测量要求 微机电系统 微电子 精确测量 快速 结果 测量实验 模式分 标准 样板 刻线 准多 性能 |
| 收稿时间： | 2007/10/11 |
Profilometer Based on Interferometry and Micro Vision System |
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| WANG Hai-shan,SHI Tie-lin,LIAO Guang-lan,LIU Shi-yuan,ZHANG Wen-dong.Profilometer Based on Interferometry and Micro Vision System[J].Opto-Electronic Engineering,2008,35(7):84-89. |
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| Authors: | WANG Hai-shan SHI Tie-lin LIAO Guang-lan LIU Shi-yuan ZHANG Wen-dong |
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| Affiliation: | WANG Hai-shan1,2,SHI Tie-lin1,LIAO Guang-lan1,LIU Shi-yuan1,ZHANG Wen-dong3 ( 1. State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment , Technology,Huazhong University of Science , Technology,Wuhan 430074,China,2. Division of Optoelectronic Materials , Micronano Manufacture,Wuhan National Laboratory for Opto-electronics,3. National Key Laboratory For Electronic Measurement Technology,North University of China,Taiyuan 030051,China ) |
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| Abstract: | A profilometer was developed for micro-nano structure profile testing on the basis of interferometry and micro vision system. A Linik interferometer was adopted in this profilometer, in which the scanner and the phase shifter were integrated through scanning the reference mirror. The five-step phase-shift algorithm was selected for Phase Shift Interferometry (PSI) mode and the Squared-Envelope function estimation by Sampling Theory (SEST) algorithm was selected for Vertical Scanning Interferometry (VSI) mod... |
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| Keywords: | Phase Shift Interferometry Vertical Scanning Interferometry Linnik interferometer five-step phase-shift algorithm Squared-Envelope function estimation by Sampling Theory algorithm |
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