|
|||||
|
|
| 多层复合薄膜中成分变化的能谱研究 | |
| 作者姓名： | 闫允杰 唐国翌 郑自攀 |
| 作者单位： | 1. 清华大学国家教委先进材料开放实验室,北京,100084 2. 中国科学院电子研究所,北京,100080 |
| 摘 要： | 某种新型传感器材料采用在Ｓｉ单晶基体上制备多层膜结构，这些膜的成分特性将对传感器的功能有重要影响。为配合新型传感器的开发，我们利用ＪＥＭ－６３０１Ｆ场发射扫描电镜及ＥＤＳ附件研究多层膜的成分变化特性，目的是为材料设计和工艺优化提供依据。实验过程及结果... |
| 关 键 词： | 多层膜 复合薄膜 成分变化 能谱 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |