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| 有助于集成光学的光刻技术 | |
| 引用本文： | 司福祺.有助于集成光学的光刻技术[J].大气与环境光学学报,2002(3). |
| 作者姓名： | 司福祺 |
| 摘 要： | 在使用相同的人力、财力和原料的情况下可以制造出更多的产品,在提高性能的同时减少单个组件的个数,使利用平板光刻技术制造的、用于光纤通信领域的光学组件更加经济有效。尽管光刻技术生产光学器件所需要的材料与 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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