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| 8相位256×256衍射微透镜的设计与制作 | |
| 作者姓名： | 程志军 黄光 何苗 易新建 |
| 作者单位： | 华中科技大学光电子工程系，华中科技大学激光技术国家重点实验室，华中科技大学光电子工程系，华中科技大学教育部图象识别与人工智能重点实验室 武汉 430074 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助（编号60177011） |
| 摘 要： | 介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法，在此基础上研制出适用于 ３～５ μｍ波长２５６×２５６ ＰｔＳｉ红外焦平面的 ８相位 ２５６×２５６硅衍射微透镜阵列，阵列中微透镜的孔径为 ５０μｍ，透镜 Ｆ数为 ｆ／２．５，微透镜阵列的中心距为 ５０μｍ。实测衍射效率大于 ８０％，能在红外波前传感器中较好应用。 |
| 关 键 词： | 衍射微透镜 衍射效率 红外焦平面 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |