日本宝色霞板上市长寿命全氟弹性体材料

日本宝色霞板公司（Busak＋Shamban）在“SEMICON Japan2005”上利用该公司展区展出了以长寿命为目标的高纯度全氟弹性体（Perfluoroelastomer）材料“Isolast J9670”。Isolast J9670具有耐化学药品性、耐等离子性、在干燥处理工序中的耐气性，以及耐热性（最高315℃），可用作高温等离子处理装置、等离子干蚀刻装置、PVD（物理气相沉积）装置及CVD（化学气相沉积）装置等的密封材料。