| 硅基GaAs／GaAlAs平面光波导的研究 |
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| 引用本文： | 赵策洲 刘恩科. 硅基GaAs／GaAlAs平面光波导的研究[J]. 红外与毫米波学报, 1996, 15(3): 221-223 |
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| 作者姓名： | 赵策洲 刘恩科 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子所，西安交通大学电子工程系 |
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| 摘 要： | 分析了金属有机化合物化学气相淀积（ＭＯＣＶＤ）ＧａＡｓ／ＧａＡｓＡｌ／ＧａＡｓ／Ｓｉ材料结构的性能，用ＭＯＣＶＤ法地硅衬底上生长了ＧａＡｓ／ＧａＡｓＡｌ／ＧａＡｓ材料，并用这种材料制备了平面光波导样品，测定了１．３μｍ，单模激光的传输损耗小于０．６５ｄＢ／ｃｍ。
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| 关 键 词： | GaAsAl MOCVD 光波导 砷化镓 |
INVESTIGATION OF Si BASED GaAs/GaAlAs PLANAR OPTICAL WAVEGUIDE |
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| Zhao Cezhou Zhu Zhuoyun Li Yaojing. INVESTIGATION OF Si BASED GaAs/GaAlAs PLANAR OPTICAL WAVEGUIDE[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 1996, 15(3): 221-223 |
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| Authors: | Zhao Cezhou Zhu Zhuoyun Li Yaojing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaAs/GaAlAs/GaAs/Si structure MOCVD optical waveguide. |
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