分离视场显微镜研制报告

GX—4型分离视场显微镜,是为配套我所研制的GK一4型半自动光刻机而设计的。其主要特点是成象清晰度好,景深长,观察光线舒适柔和,没有光学“漂移”。这就为提高光刻对准的速度和精度带来了许多方便之处,同时也为接近式光刻提供了有效的观察系统。另外,在机械结构上与曝光用的多点光源联接在一起,曝光时,显微镜本体不动,从而提高了设备的稳定性和可靠性。