| 降低集成化平面螺旋电感寄生串联电阻的途径 |
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| 引用本文： | 温志渝,张正元,徐世六,吴英,张正. 降低集成化平面螺旋电感寄生串联电阻的途径[J]. 微电子学, 2001, 31(5): 360-362 |
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| 作者姓名： | 温志渝 张正元 徐世六 吴英 张正 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学光电工程学院,
2. 信息产业部电子第二十四研究所, |
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| 基金项目： | 光电技术及系统教育部重点实验室资助项目 (CETD0 0 - 0 7) |
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| 摘 要： | 对集成化平面电感的串联电阻对电感Q值的影响进行了计算机模拟分析，结果表明，微型电感中的串联电阻对电感Q值的影响严重，在电感的串联电阻大于200Ω时，电感的Q值下降到1左右，已无法满足实际需要。围绕微型电感中对串联电阻起主要作用的导通电阻开展实验，得出了降低导通电阻的最佳工艺条件，为研究通讯用的微型电感打下了基础。
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| 关 键 词： | 集成电路 微型电感 导通电阻 串联电阻 |
| 文章编号： | 1004-3365(2001)05-0360-03 |
| 修稿时间： | 2001-01-08 |
Approaches to Reducing Effect of Series Resistance on Q Value in Micro-Inductor |
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| WEN Zhi yu ,ZHANG Zheng yuan ,,XU Shi liu ,WU Ying ,ZHANG Zheng fan. Approaches to Reducing Effect of Series Resistance on Q Value in Micro-Inductor[J]. Microelectronics, 2001, 31(5): 360-362 |
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| Authors: | WEN Zhi yu ZHANG Zheng yuan XU Shi liu WU Ying ZHANG Zheng fan |
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| Affiliation: | WEN Zhi yu 1,ZHANG Zheng yuan 1,2,XU Shi liu 2,WU Ying 1,ZHANG Zheng fan 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro inductance On resistance Series resistance Q value |
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