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热化学气相反应法制备SiC纳米粉的研究
引用本文:杨修春 韩高荣. 热化学气相反应法制备SiC纳米粉的研究[J]. 功能材料, 1998, 29(5): 523-526
作者姓名:杨修春 韩高荣
作者单位:北京科技大学理化系!北京,100083,浙江大学材料系!杭州,310027,浙江大学材料系!杭州,310027,浙江大学材料系!杭州,310027,北京科技大学理化系!北京,100083
摘    要:利用SiH4-C2H4-H2系统的反应,在1423K ̄1673K温度范围内对SiC超细粉的合成进行了系统研究。采用的粉末表征方法有透射电镜(TEM)、红外吸收谱(IR)、X射线衍射(XRD)、粉末比表面分析(BET),高分辨透射电镜(HREM)和化学分析。结果表明,改变反应温度和反应气体组成比能获得高纯SiC超细粉。在1423K ̄1573K范围内,粉末富硅,当温度超过1623K时粉末富碳,在T=1

关 键 词:热化学气相反应 碳化硅 超细粉 粉末特征 纳米

The Studies of Synthesizing SiC Nanometer Powders by Chemical Vapour Reaction
Yang Xiuchun, Han Gaorong, Du Piyi, Zhou Guozhi. The Studies of Synthesizing SiC Nanometer Powders by Chemical Vapour Reaction[J]. Journal of Functional Materials, 1998, 29(5): 523-526
Authors:Yang Xiuchun   Han Gaorong   Du Piyi   Zhou Guozhi
Abstract:
Keywords:chemical vapor reaction   SiC nanometer powder   powder characteristics
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