离子束刻蚀机电控系统设计

运动控制系统是实现离子束刻蚀机控制算法和轨迹拟合算法的硬件基础,因此需要在传动运动控制系统上,进行进一步的研究,以满足离子束刻蚀机刻蚀闪耀曲面光栅的要求,文章按照离子束刻蚀机运动控制系统的功能要求设计了工作平台的电控系统,首先介绍了电控系统的结构和功能模块布置,之后分别对电控系统的四个主要功能模块的软件和硬件电路进行设计,分别为:供电模块、真空获得模块、运动控制模块、通讯模块。为实现离子束刻蚀机控制算法和轨迹拟合算法提供了实际实验平台基础。