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溶剂对FTO薄膜的结构和光电性能的影响
引用本文:付晨,王立坤,邱茹蒙,王贵,蔡文豪,杨静凯,赵洪力.溶剂对FTO薄膜的结构和光电性能的影响[J].材料研究学报,2019,33(4):277-283.
作者姓名:付晨  王立坤  邱茹蒙  王贵  蔡文豪  杨静凯  赵洪力
作者单位:燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004;燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004;燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004;燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004;燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004;燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004;燕山大学材料科学与工程学院 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 秦皇岛 066004
基金项目:国家重点研发计划;河北省应用基础研究计划重点基础研究项目;国家自然科学基金;河北省自然科学基金;河北省教育厅青年拔尖人才计划
摘    要:采用喷雾热解法(SPD),分别使用甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇和去离子水作为溶剂制备F掺杂的SnO2(FTO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四点探针电阻仪、霍尔效应仪和紫外可见分光光度计等手段对薄膜进行测试和表征,研究了溶剂对FTO薄膜结构、形貌和光电性能的影响,研究了溶剂对FTO薄膜结构与光电性能的影响。结果表明:FTO薄膜具有四方相金红石结构;使用不同溶剂制备的薄膜,其表面形貌和颗粒尺寸明显不同;使用甲醇为溶剂制备的FTO薄膜呈现饱满的金字塔状,晶粒尺寸均匀,结构致密,具有最佳的综合光学和电学性能,其电阻率可达4.43×10-4 Ω·cm,载流子浓度为9.922×1020 cm-3,品质因数为1.646×10-2 Ω-1,可见光区透射比均大于75%。

关 键 词:无机非金属材料  FTO薄膜  喷雾热解  溶剂  光学性能  电学性能
收稿时间:2018-07-02

Effect of Solvents on Structure and Photoelectric Properties of FTO Thin Films
Chen FU,Likun WANG,Rumeng QIU,Gui WANG,Wenhao CAI,Jingkai YANG,Hongli ZHAO.Effect of Solvents on Structure and Photoelectric Properties of FTO Thin Films[J].Chinese Journal of Materials Research,2019,33(4):277-283.
Authors:Chen FU  Likun WANG  Rumeng QIU  Gui WANG  Wenhao CAI  Jingkai YANG  Hongli ZHAO
Abstract:Transparent conductive thin films of fluorine Transparent conductive thin films of fluorine doped tin oxide (FTO) were prepared via spray-pyrolysis (SPD) process using with methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol and deionized water as solvents respectively. The films were tested and characterized by X-ray diffraction, scanning electron microscope, four-point probe resistance meter, Hall effect meter and UV-visible spectrophotometer. The effects of solvent on the structure, morphology and photoelectric properties of FTO films were investigated. The results show that when the solvents were with different solvents, the prepared FTO thin films showed the same crystallographic, i.e. a tetrahedral rutile structure, and however their surface morphology and particle size were significantly different. Among others, the FTO thin films prepared with methanol as the solvent showed a dense and full pyramid-like structure al shape, with uniform grain size, compact structure, and the best comprehensive optical and electrical properties, namely, the best resistivity of the film can reach 4.43×10-4 Ω·cm, the carrier concentration is 9.922×1020 cm-3, the figure of merit of the film is 1.63×10-2 Ω-1, and the visible light transmittance is greater than 75%.
Keywords:inorganic non-metallic materials  FTO thin film  spray pyrolysis  solvent  optical properties  electrical properties  
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