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| 钛酸锶钡（BST）薄膜的介电性能机理研究进展 | |
| 引用本文： | 符春林,杨传仁,陈宏伟,胡文成,李文远.钛酸锶钡（BST）薄膜的介电性能机理研究进展[J].真空科学与技术,2003,23(3):187-194. |
| 作者姓名： | 符春林 杨传仁 陈宏伟 胡文成 李文远 |
| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院成都610054 |
| 摘 要： | 钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜，应用广泛，是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍BST薄膜的制备方法和应用，重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、表征及影响因素，并综述了铁电薄膜的疲劳机制和消除疲劳措施等方面的研究进展，提出了研究中需要解决的一些问题。 |
| 关 键 词： | 钛酸锶钡 铁电薄膜 极化 电压非线性 漏电流 疲劳 |
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