摘 要: | 专利名称:一种用于清洗集成电路模具的橡胶组合物专利申请号:CN201210252751.3公开号:CN102775656A申请日:2012.07.15公开日:2012.11.14申请人:湖州师范学院本发明涉及一种用于清洗集成电路模具的橡胶组合物。其特征在于该组合物由异戊橡胶、硅藻土、硬酯胺、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、N,N-间苯撑双马来酰亚胺组成,各组分的重量百分比为:异戊橡胶40-60%、硅藻土30-50%、硬酯胺5-10%、γ-氨丙基三乙氧基硅烷2-5%,N,N-间苯撑双马来酰亚胺1-2%。各组分进行混炼、压延成橡胶组合物。该组合物具有优良的清洗性能,在使用过程中无刺激性气味产生、无烟雾产生。
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