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| 气压和流速对微热板气体传感器的影响 | |
| 引用本文： | 黄正兴,唐祯安,申爽,陈正豪. 气压和流速对微热板气体传感器的影响[J]. 仪器仪表学报, 2002, 23(Z1): 54-55 |
| 作者姓名： | 黄正兴 唐祯安 申爽 陈正豪 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学微机电系统研究中心,大连,116023 2. 香港科技大学电机与电子学系,香港 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(69682006和59995550-5)资助项目. |
| 摘 要： | 微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点,是集成气体传感器等微传感器的核心部件.通过实验测定,介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响. |
| 关 键 词： | 气体 压力 流速 微热板 气体传感器 |
Influence of Gas Pressure and FIow Rate to Microhot-plate Gas Sensor |
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