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| 提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法 | |
| 引用本文： | 张友渝,江泽流,宗婉华,王文喜,张大立,王民娟.提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法[J].半导体学报,1998,19(6):431-436. |
| 作者姓名： | 张友渝 江泽流 宗婉华 王文喜 张大立 王民娟 |
| 作者单位： | 河北半导体研究所 |
| 摘 要： | 本文提出采用栅孔直径整匀法以及改进的纵向高阻Ｓｉ镇流电阻法，提高了Ｓｐｉｎｄｔ型场发射冷阴极阵列的发射均匀性 |
| 关 键 词： | FEA 冷阴极 Spindt型 发射均匀性 |
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