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| 静电梳微谐振子直脚型结构的振动特征 | |
| 引用本文： | 丁晓红,陈晓阳.静电梳微谐振子直脚型结构的振动特征[J].机械设计与制造工程,2000,29(3):6-7,11. |
| 作者姓名： | 丁晓红 陈晓阳 |
| 作者单位： | [1]苏州大学工学院 [2]上海大学轴承研究院 |
| 摘 要： | 静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常用的结构－直脚型结构的振动特性，提出了计算机结构谐振频率的实用算法。并探讨了影响谐振频率的几何参数，得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义。 |
| 关 键 词： | 直脚型结构 静电梳微谐振子 谐振频率 微机械 |
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