| 基于SPM技术的纳米信息存储薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 王志,巴德纯,蔺增. 基于SPM技术的纳米信息存储薄膜的研究进展[J]. 真空, 2003, 199(2): 7-10 |
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| 作者姓名： | 王志 巴德纯 蔺增 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004；沈阳航空工业学院,辽宁,沈阳,110034
2. 东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004 |
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| 摘 要： | 扫描探针显微技术SPM可以在原子或分子尺度上对表面进行表征和修饰，应用SPM技术可以在薄膜表面形成纳米级的信息点阵，特别适合发展超高密度的信息存储，是一种非常有希望代替传统磁存储，光存储的纳米级存储技术，本文介绍了纳米信息存储薄膜的研究进展，并对其制备技术和读写机制进行了初步的探讨。
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| 关 键 词： | 扫描探针显微技术 纳米信息存储 薄膜 |
| 文章编号： | 1002-0322(2003)02-0007-04 |
Research progress in nano storage film using scanning probe microscopy |
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| Keywords: | scanning probe microscopy nano storage film |
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