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NEA GaN光电阴极的制备与评估
引用本文:高频, 王晓晖, 杜玉杰, 李彪, 付晓倩. NEA GaN光电阴极的制备与评估[J]. 红外技术, 2011, 33(6): 332-335. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.06.005
作者姓名:高频  王晓晖  杜玉杰  李彪  付晓倩
作者单位:南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094
摘    要:对GaN的结构性质进行了介绍,研究了NEAGaN光电阴极的制备方法,利用MOCVD生长了P型掺杂浓度为1.6×1017cm-3发射层厚度150 am的GaN样品,在进行了GaN表面净化处理得到原子级清洁表面后,在超高真空系统中对GaN光电阴极进行了Cs/O激活,获得了NEAGaN光电阴极.利用实验室制备的多信息量测试系统对成功激活后的NEAGaN光电阴极进行了评估,结果显示:NEAGaN光电阴极的反射式量子效率达到了30%,透射式量子效率达到了12%.

关 键 词:GaN光电阴极  NEA  制备工艺

Preparation and Evaluation of NEA GaN Photocathode
GAO Pin, WANG Xiao-hui, DU Yu-jie, LI Biao, FU Xiao-qian. Preparation and Evaluation of NEA GaN Photocathode[J]. Infrared Technology , 2011, 33(6): 332-335. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.06.005
Authors:GAO Pin  WANG Xiao-hui  DU Yu-jie  LI Biao  FU Xiao-qian
Abstract:
Keywords:
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