| TiC薄膜的性能研究 |
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| 引用本文： | 邵霄,朱昌,梁海峰.TiC薄膜的性能研究[J].真空科学与技术学报,2008,28(Z1):56-59. |
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| 作者姓名： | 邵霄 朱昌 梁海峰 |
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| 作者单位： | 1. 西安工业大学,陕西省薄膜技术重点实验室,西安,710032;上海神开石油科技有限公司,上海,201114
2. 西安工业大学,陕西省薄膜技术重点实验室,西安,710032 |
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| 摘 要： | 采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分压对薄膜硬度的影响.结果表明,不同CH4分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响,高的CH4分压下,薄膜的摩擦系数较低,CH4分压提高到0.15 Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,进一步提高CH4分压,薄膜呈现非晶态.
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| 关 键 词： | TiC薄膜 脉冲真空电弧离子镀 微结构 力学性能 薄膜硬度 力学性能 研究 Coatings Mechanical Properties 非晶态 单相 晶粒细 摩擦系数 结果 显微硬度 全自动 丹麦 影响 摩擦性能 磨损测试仪 微结构 相组成 表征 利用 |
| 文章编号： | 1672-7126(2008)增刊-056-04 |
| 修稿时间： | 2007年8月25日 |
Growth and Mechanical Properties of TiC Coatings |
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| Shao Xiao,Zhu Chang,Liang Haifeng.Growth and Mechanical Properties of TiC Coatings[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(Z1):56-59. |
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| Authors: | Shao Xiao Zhu Chang Liang Haifeng |
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