| MEMS隧道加速度计的系统分析与设计 |
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| 引用本文： | 董海峰,贾玉斌,郝一龙. MEMS隧道加速度计的系统分析与设计[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 295-297 |
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| 作者姓名： | 董海峰 贾玉斌 郝一龙 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院,北京,100871 |
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| 摘 要： | 主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计，对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模，其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型。以系统模型作为基础，分析了器件工作所必须的条件，对器件的结构参数和反馈控制电路的参数进行了设计，并给出了系统的静态与动态输出。另外，本文提出了参数敏感度因子的概念及其计算方法，利用这种方法可以对每一个参数计算其对应的敏感因子，从而为参数容差设计提供了依据。
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| 关 键 词： | MEMS 隧道加速度计 系统分析 设计 微机电系统 隧道原理 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0295-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
System analysis and design of a MEMS tunneling accelerometer |
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